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微電子院推出新產品高精度MEMS智能傳感器

　　近日，中國兵器工業集團微電子院在MEMS領域取得新成果，推出自主研發的新產品高精度MEMS智能傳感器產品。微電子院領航國內MEMS晶圓制造技術，自主研發具有高精度、低功耗、小型化特點的系列MEMS智能傳感器，可廣泛應用于智能汽車、航空航天、工業測控等領域，相關產品達到國際先進水平。

　　下一步，微電子院將繼續開展MEMS核心關鍵技術攻關，打造原創技術策源地，推動科技成果轉化，加快培育新質生產力，為微電子行業繁榮發展提供有力支撐。

　　來源/微電子院 文/胡志揚